檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "曝光".ckeyword (精準) and cdept.raw="光電工程研究所"
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傳統的全像術曝光系統因其反射鏡限制了其週期大小與曝光面積,為了克服此問題,本論文採用兩條光纖取代原有的反射鏡及擴束器,並利用光纖可彎曲的特性,改良全像干涉曝光系統的光路,使其曝光面積較不受干涉圖案週…
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金屬氧化物薄膜電晶體一般都採用下閘極上接觸式的結構,以防止TFT-LCD的背光源照射到通道層材料進而影響其電特性。另外在此下閘極結構中,因為要考慮到光罩間對位的誤差,而將其汲極和源極設計成與閘極各有…